1.范围
本标准界定了泄漏检测的技术术语。
2.术语和定义
2.1 绝对压力 absolute pressure
绝对压强
与真空空间相对应的绝对零值以上的压力,即地区大气压力加上表压力。
2.2 吸收 absorption
气体渗入或浸入到固体(或液体)内部。
2.3 漏隙 aperture leak
几何形状为漏道的长度远小于其最小直径的一种漏孔,因此,可认为这种漏孔等效为无限薄壁上的个通孔。
2.4 大气压(标准) atmosphere( standard)
0℃时,在标准重力加速度下,760mm高汞柱所产生的压力,相当于101325Pa。
2.5 大气压力 atmospheric pressure
在特定地点和时间的大气的压力。
2.6 原子质量单位 atomic mass unit;amu
粒子(原子、分子、离子等)质量的度量单位,定义为碳原子12质量的1/12。以原子质量单位表示的粒子质量的数值与过去采用的原子量相同。
2.7 背景信号 background signal
因存在残留的示踪气体或其他会引起检测元件响应的物质,而使检漏仪产生稳定的或波动的输出信号。
2.8 前级空间 backing space
前级泵〔预真空泵)与连带的扩散泵(或要求预真空泵的其他类型泵)之间的空间。
2.9 烘烤 bake-out
在抽气过程中,用加热方法使真空系统脱气的过程。
2.10 前级罐 ballast
当预真空泵暂停时,能维持低的前级压力的足够大的前级空间。
2.11 清除 clean-up
清除时间 clean-up time
泄漏检测系统的信号输出减少到示踪气体停止进人泄漏系统时所指示信号的37%所需的时间。
2.12 浓度比 concentration ratio
一种(气体)混合物中某种成分的原子(分子)数与该混合物中的原子(分子)总数之比。对于理想气体来说,浓度比与该成分的体积分数或分压力相同。
2.13 流导率 conductance
气体流经导管或通气孔的流速(在稳态守恒条件下)与导管两端或通气孔两侧气体的分压差之比,以单位时间内的体积表示,如m3/s。
2.14 露点温度 dew point temperature
空气中水汽已达到饱和,水蒸气将变为露珠的温度。
2.15 扩散 diffusion
气体穿过一种物质的流动,实际上气体是通过该物质的晶格的迁移,而不是通过几何漏孔(孔径可与分子直径相比)的泄漏。
2.16 离解 dissociation
裂解 cracking
分解
种物质分解成两种或更多种成分。
2.17 漂移 drift
不是示踪气体量的变化,而是由于电子学上的原因引起的检漏仪本底输出电平出现相对缓慢变化的现象。
2.18 于泡温度 dry bulb temperature
系统中气体的环境温度。
2.19 检漏仪的动态灵敏度 dynamic sensitivity of leak detector
在规定条件下,对被检密闭体持续进行有效地抽空时,检漏仪能够检出的最小漏率。
2.20 等效氮压力 equivalent nitrogen pressure
等效氮压
如果装置内的气体用相同分子密度的氮气代替时,由压力表或其他仪表所指示出的计算压力。
2.21 淹没系统 flooded system
在检测时已被示踪气体充满,以致不能进一步实施泄漏检测的系统。
2.22 流速 flow rate
流量 flow throughput
a) 气体通过系统给定截面的速率,用单位时间内通过的气体体积与该界面上的(分)压力的乘积来确定;
b) 在通气管两端或孔的两侧气体分压力差与该通气管或孔的导气率的乘积,以单位时间内压力-体积表示,如Pa·m3/s。
2.23 前级压力 fore pressure
背压 back pressure
抽气压力 exhaust pressure
排气压力 discharge pressure
出口压力 outlet pressure
在靠近泵出口处测出的泵出口侧的总压力。在讨论喷汽的作用时,术语前级压力可用来表示喷汽冲击气体的总压力。
2.24 表压力 gauge pressure
表压
绝对压力与大气压力之差。
2.25 气体gas
物质的一种形态。在此形态下,分子实际上不受分子间力的约束,因而分子能自由地占据密闭体内的整个空间。在真空技术中,气体这个词在不严格的情况下,也可应用于真空系统中的不凝结气体和蒸汽。
2.26 氦漂移 helium drift
用探头进行泄漏检测时,距探头端部一定距离处的漏孔或可渗透垫圈引起的漂移。这种漂移被探头测出,可能使操作者误认为探头附近区域有泄漏;或由于探测管中氦浓度的缓慢变化(因泄漏或释气)而引起检漏仪输出仪表指针的逐渐漂移,以时间单位内的移动刻度数表示。
2.27 严格气密的密封 hermetically tight seal
当将对压力侧气体敏感的商用检测仪置于相对一侧进行动态检测,或使用任何形式的液体检测,均未显示泄漏的密封。
2.28 理想气体 ideal gas
完美气体 perfect gas
种遵循波义耳定律( Boyle’slaw)并具有自由膨胀无热效应[或者也遵循查理定律( Charle’s law)]的气体。
2.29 惰性气体 inert ga
与其他物质很难化合的气体,例如氦气、氖气、氩气。
2.30 泄入率 in-leakage rate
在特定抽空的容器中所有漏孔产生的漏率之和,以单位时间内的压力-体积单位表示。
2.31 仪器校准 instrument calibration
将尺寸已知的标准漏孔连接到一个独立的检漏仪,以便在特定的压力和温度下测出特定气体的最小漏率,该泄漏仪能通过泄漏指示刻度将该压力和温度标识在特定区域。
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